Ellipsometry

Mit Hilfe der Ellipsometrie mi t man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)



Author: Tompkins, McGahan
Publisher: John Wiley & Sons
Published: 03/04/1999
Pages: 248
Binding Type: Hardcover
Weight: 1.11lbs
Size: 9.42h x 6.58w x 0.86d
ISBN: 9780471181729

About the Author

Harland Tompkins retired from full-time employment in 2001. During his full-time employment, he was employed by General Electric Co., Bell Laboratories, the Idaho National Engineering Lab, and Motorola.

William A. McGahan is the author of Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide, published by Wiley.